Los Sistemas-Micro Electro Mecánicos o MEMS se definen como elementos mecánicos y electro-mecánicos (por ejemplo, dispositivos o estructuras) miniaturizados que se realizan con técnicas de micro fabricación y forman parte de un circuito integrado.
Los tipos de dispositivos de MEMS pueden variar de estructuras relativamente simples que no tienen elementos móviles, a los sistemas electromecánicos extremadamente complejos con múltiples elementos móviles bajo el control de microelectrónica integrada.
Los elementos más notables, y quizás los más interesantes de un MEMS son los micro-sensores y micro-actuadores. Los micro-sensores y micro-actuadores, que usualmente convierten una señal mecánica medida en una señal eléctrica.
Durante las últimas décadas, los investigadores y desarrolladores de MEMS han demostrado un número extremadamente grande de microsensores para casi todas las modalidades posibles en la detección de temperatura, presión, fuerzas de inercia, las especies químicas, campos magnéticos, radiación, etc. Muchos de estos sensores micro mecanizados han mostrado un desempeño superior al de sus homólogos de macro escala.
Recientemente, se ha mostrado una serie de micro actuadores incluyendo: micro válvulas para el control de flujo de gas y líquidos, interruptores ópticos y espejos para redirigir o modular los haces de luz, micro espejos, micro resonadores para numerosas aplicaciones, micro bombas para desarrollar presiones positivas en fluidos, micro alerones para modular corrientes de aire sobre superficies de sustentación, así como muchos otros.
El verdadero potencial de los MEMS se aprecia una vez que estos sensores miniaturizados, actuadores, y todas las estructuras se pueden combinar en un sustrato de silicio común, lo que permite su conexión con componentes digitales microelectrónicos convencionales para formar una solución completa de procesamiento y sensorización, ideal para aplicaciones de Internet de las cosas (IoT), elementos de enfoque para cámaras en dispositivos móviles, etc. Más interesante aun, los MEMS pueden ser combinados no sólo con la microelectrónica, sino con otras tecnologías como la fotónica.
La capacidad de integración en un solo chip de los MEMs con otras tecnologías han permitido el desarrollo de productos inteligentes mediante el aumento de la capacidad computacional de la microelectrónica con las capacidades de percepción y control de los microsensores y micro actuadores que han revolucionado muchas categorías de productos al permitir que el desarrollo de sistemas completos en un chip (systems-on-a-chip) sea una realidad.
Fuente:
MEMS and Nanotechnology Exchange https://www.mems-exchange.org/